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    Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术，KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量，ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后，客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示：“氖气是半导体制造业不可或缺的气体，我们认识到在当前情况下，持续的供应危机是一个极为严重的问题，将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产，为此我们推出了三大措施：为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。云南液氖多少立方氖在常温常压下为无色无臭无毒的惰性气体。空气中含氖约18ppm。不燃。

    本公开涉激光技术领域：，尤其涉及一种可控的多波长激光输出装置，其输出波长可切换且功率可控。背景技术：：伴随着激光技术的发展，各式各样的激光器广泛应用于工业、科研、医学、娱乐等领域。各个领域对激光器的输出方式、性能有了越来越高的要求。同时或者交替输出多种波长的激光器逐渐被很多应用场合所需要。在探测领域，如在大气颗粒物测量方面，通常同时使用1064nm、532nm、355nm至少三种波长进行探测；在一些医疗领域，如激光碎石，需要同时使用1064nm、532nm等波长的激光进行***；而在加工领域中，通常根据加工材料性质的要求，采取多波长激光切换或交替输出的工作方式。在现有的技术，如图1所示，是一种传统的腔外频率转换激光器，包括基频激光光源111、其后依次是二倍频非线性晶体121、三倍频非线性晶体122、二倍频非线性晶体固定在可移动的平台131上，三倍频非线性晶体122固定在可以移动平台132上。以此类推，通过移动平台，将非线性晶体移入移出光路，当非线性晶体在光路中时，频率转化可以发生，可产生二倍频或三倍频光；当非线性晶体移出光路时，可输出基频光。在现有技术中，如图2所示，一种传统的频率转换激光器。

    本发明涉及一种气体分离的方法，尤其涉及一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法和装置。背景技术：大气中的氪和氙含量分别约为×10-6和×10-6，微量氪和氙随空气进入空气分离装置的低温精馏塔后，高沸点组分氪、氙、碳氢化合物(主要是甲烷)以及氟化物均积聚在低压塔的液氧内，将低压塔的液氧送入一个氪附加精馏塔(俗称贫氪塔)。可获得氪氙含量为～％kr+xe的贫氪氙浓缩物，其中甲烷含量约为～％。氧气中甲烷含量过高(一般不超过％ch4)是极其危险的，只有预先脱除掉贫氪氙浓缩物中的甲烷后，才有可能继续提高液氧中的氪氙浓度，在已知的方法中，首先将贫氪氙浓缩物加压到临界压力，再减压到。甲烷纯化装置是通过钯催化剂，在480～500℃的温度下，氧与甲烷进行化学反应后甲烷被脱除(残余甲烷含量可低于1×10-6)，然后用分子筛吸附脱除化学反应生成物——二氧化碳和水。去除甲烷后的原料气进入精馏塔后得到氪氙混合物。一般的精制设备利用此氪氙混合物作为原料，以氮气和液氮的混合气为冷源，通过增设多级精馏的形式分离氪气、氙气，并进一步提纯氪气氙气。精制设备所使用的的氮气直接进冷箱，没有预冷过程，对应使用的液氮量较大。因此，本领域的技术人员致力于开发氪氙精制方法。工业气体氖气常温下为气态的惰性气体，不助燃。

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